- формирование микрорисунков на поверхности твёрдого тела. M. лежит в основе технологии микроэлектроники. Обычно M. включает: нанесение на поверхн... смотреть
ж.microlithography- ионная микролитография- рентгеновская микролитография- электронная микролитография- электронно-лучевая микролитография
lithography электрон.
微石印术